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文昌水电安装培训学校

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  • 2020-11-03 03:27
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芯明天P15系列XYZ压电纳米定位台是用于超分辨率显微镜应用的多轴定位台,通过闭环控制,可以实现亚纳米级的高精度运动,在XYZ平面上的行程范围可达300微米。


P15内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构。FEA使其设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动 小化。闭环版本采用高精度的传感反馈,与E70系列闭环控制器配套使用,具有非常高的稳定性。台体中心66×66mm大通孔,非常适合显微成像、微操作等应用。

特点

• XYZ三维运动

• 行程范围:300μm/轴

• 无摩擦、高精度挠性导向系统

• 扫描平整度高

• 通孔尺寸:66×66mm

• 闭环阶跃时间:60ms

• 闭环分辨率:13nm

• 承载能力:0.5kg

带载阶跃时间

闭环上升曲线,满行程阶跃时间60ms。


闭环压电控制器

E70.D3S压电控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力,通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精准度与稳定性,可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。


技术参数

功能:数字与模拟集成式控制器

通道数:3

模拟输入:0~10V

输出电压:0~120/150V

平均电流:70mA

带宽:10kHz

传感器类型:SGS

伺服特性:P.I+低通+陷波

通信接口:RS-232/422、USB

工作温度: 0~50℃

尺 寸:168.5×134×45.5mm

重 量:1.2kg

供电电压:24V DC1.5A(36W)

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