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P73系列压电物镜定位器为大行程压电物镜定位器,Z轴直线运动范围可选200μm、500μm及1mm。P73.Z200是P73系列中200微米行程的版本,它采用柔性铰链设计机构,无摩擦、运动直线性好,且闭环版本定位精度高。分离式螺纹适配器设计,可适配多种型号的显微镜,广泛应用于大范围显微成像、双光子显微镜等领域。
特点
行程200μm
承载能力0.2kg
毫秒级响应时间
闭环重复定位精度高
聚焦稳定性好
典型应用
三维成像
干涉/计量
生物科技
表面结构分析
共焦显微
半导体测试
开/闭环控制电压与位移曲线
注:施加至压电物镜定位器的电压约为控制输入电压的12倍。
螺纹适配器便于安装
P73.Z200系列压电物镜定位器与物镜之间通过适配器连接,将物镜快速锁定在预期位置。多种螺纹牙可选,如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36" 等,也可定制,便于与显微镜集成安装。可匹配蔡司、尼康、奥林巴斯、徕卡等多种标准镜头。它也可以通过适配器与手动调节台相结合使用。
技术参数
型号:P73.Z200S
运动自由度:Z
标称行程范围:160μm@120V
行程范围:200μm@150V
传感器类型:SGS
闭/开环分辨率:11/5nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复定位精度:0.05%F.S.
推/拉力:80/10N
运动方向刚度:0.25N/μm
空载谐振频率:210 Hz
闭/开环空载阶跃时间:20/10ms
闭环空载工作频率:40Hz@10%行程
闭环空载工作频率:10Hz@100%行程
承载能力:0.2 kg
静电容量:7.2μF
材质:钢、铝
重量:360g
注:以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。 大驱动电压可在-20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
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