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  • 2020-05-01 00:51
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高纯六氟化硫在*国家标准GB13690-62和《危险化学品名录》(2002版)中定为第2类不燃烧气体,危险特性20,危险货物编号22021。纯品基本无毒,但产品中如混杂低氟化硫,氟化氢,特别是十氟化硫或一氧十氟化二硫时,则毒性增强。

高纯六氟化硫的成本只有NF3的几分之一,近年来,各公司以廉价的SF6取代以往CVD工艺中作为清洗气体的NF3的新技术正被广泛研究。该技术在大幅降低液晶产品加工中占相当比例的CVD气体成本的同时,还显示出了环保前景,近年来用量有明显的提高。六氟化硫水份仪。

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