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SF6气体回收装置参照电力行业标准DL/T662-1999《六氟化硫气体回收装置技术条件》标准及原机电部JB/DQ2588-90《六氟化硫充气及回收装置》标准。

另外，在手机维修与六氟化硫回收净化系统上采用有油或无油系统，至于孰优孰劣，也存在手机维修与着一定的手机维修争议。有油系统理论上可以做到SF6气体达到不与油接触，称为全元油(Oil-free)，如国内使用的手机维修膜式压缩机。

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