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还因其化学惰性、无毒、不燃及无腐蚀性,还被广泛应用于金属冶炼、航空航天、*、气象、化工等。电子级高纯六氟化硫是一种电子蚀刻剂,用于微电子技术。进口六氟化硫微水测试仪。
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